MLA150で露光量とフォーカスを振った際の各種フォトレジスト1：1L/Sの断面形状を観察した。同じレジストでも1年前と比べフォーカスがマイナス側にあったことから、フォーカスシフトの検証を行ったもの。MLA150のニューマチックフォーカスはシフトするため再現性はあまり得られない。このため、塗布したレジストの膜厚以下、あるいは装置限界に近いシビアなパターンが要求される場合には、露光直前にフォーカス確認をしたほうが良い。一方、フォーカスを変えることで、テーパー角をコントロールし、レジスト断面形状の標準化が可能となる。