データセット名：MLA150におけるフォーカスの再現性とフォーカスシフトの検証
課題名：レジスト断面形状と露光フォーカス再現性の検証
データセット登録者（所属機関）：東北大 古林（東北大学）
- 課題番号：
- JPMXP1223TU0203
- 実施機関：
- 東北大学
要約
MLA150で露光量とフォーカスを振った際の各種フォトレジスト1：1L/Sの断面形状を観察した。同じレジストでも1年前と比べフォーカスがマイナス側にあったことから、フォーカスシフトの検証を行ったもの。MLA150のニューマチックフォーカスはシフトするため再現性はあまり得られない。このため、塗布したレジストの膜厚以下、あるいは装置限界に近いシビアなパターンが要求される場合には、露光直前にフォーカス確認をしたほうが良い。一方、フォーカスを変えることで、テーパー角をコントロールし、レジスト断面形状の標準化が可能となる。
キーワード・タグ
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データメトリックス
- ページビュー：
- 2815
- ダウンロード数：
- 4
データインデックス
- 登録日：
- 2024.03.18
- エンバーゴ解除日：
- 2024.03.15
- データセットID：
- 2a85a523-3e3e-413c-8aa1-245f3837294c
- データタイル数：
- 4
- ファイル数：
- ファイルサイズ：
- 61.3MB
装置・プロセス