深堀エッチング加工表面のウエハプロファイラ観察(VSIモード)
課題名
深堀エッチング加工表面のウエハプロファイラ観察
課題番号
JPMX1223KT1196
データセット登録者
海津 利行（京都大学）
Isahaya Nobuaki（京都大学）
エンバーゴ期間終了日
2024-02-07
データセットID
bafe2f9d-08e3-42f9-92b2-d9ce7b05e4b2
ファイルサイズ
1.28MB
データ数
1
装置名
ウエハプロファイラ
要約
4インチSiウエハに両面マスクアライナを用いて京都大学のロゴマークのパターニングを行い、深堀ドライエッチング加工した表面をウエハプロファイラの垂直走査干渉(VSI)モードで観察した。
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