データセット名：深堀エッチング加工表面のウエハプロファイラ観察(VSIモード)
課題名：深堀エッチング加工表面のウエハプロファイラ観察
データセット登録者（所属機関）：Isahaya Nobuaki（京都大学）
- 課題番号：
- JPMX1223KT1196
- 実施機関：
- 京都大学
要約
4インチSiウエハに両面マスクアライナを用いて京都大学のロゴマークのパターニングを行い、深堀ドライエッチング加工した表面をウエハプロファイラの垂直走査干渉(VSI)モードで観察した。
キーワード・タグ
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データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2024.02.08
- エンバーゴ解除日：
- 2024.02.07
- データセットID：
- bafe2f9d-08e3-42f9-92b2-d9ce7b05e4b2
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- ファイルサイズ：
- 1.28MB
装置・プロセス