AT-031_原子層堆積装置_1[FlexAL]
課題名
ALD成膜基礎データ(2022年)
課題番号
JPMXP1222AT0458
データセット登録者
清水三聡(産業技術総合研究所)
有本(産業技術総合研究所)
エンバーゴ期間終了日
2023-09-30
データセットID
f7c525c4-22f0-4311-9888-e66f6aab0f0d
ファイルサイズ
1.35MB
データ数
6
装置名
原子層堆積装置_1[FlexAL]
要約
産業技術総合研究所_共用施設_ナノプロセシング施設_原子層堆積装置_1[FlexAL]は、試料サイズ:8インチφ、材料ポート:8ポート、及び膜厚計測用 in-situ 分光エリプソを装備した原子層堆積装置です。今回2022年度のスタッフデータとしてSiO2/SiN/Si積層膜、HfO2/Si単層膜などの詳細レシピデータ及びその評価データ(GPC、結晶性等)、又成膜前のSi表面処理(BHF、HF)の終端評価データ(FT-IR)を紹介します。
タグ