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データセット名:ステップ状の薄膜試料における成膜状態の確認

課題名:ステップ状の薄膜試料における成膜状態の確認

データセット登録者(所属機関):伊藤暢晃(北陸先端科学技術大学院大学)

課題番号:
JPMXP1224JI2008
実施機関:
北陸先端科学技術大学院大学

要約

格子定数の異なる結晶間を繋ぐために、薄膜を多数並べて緩和しようとした試料の確認をしたものである。トップビューは左側(白色)が高く、右側(黒色)が低いことを表している。また右側のカラーバーの横にはその高さのピクセル分布数をグラフで表しており、5段階に見事に分かれている。もう一つの絵は断面プロファイルであり、ステップの向きに直角(赤色)と並行(水色)の線に沿った高さ変化を見ている。この2色はスケールが異なることに注意が必要である。

step(20um)B-profile
step(20um)B

キーワード・タグ

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マテリアルインデックス:
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データメトリックス

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データインデックス

登録日:
2025.02.13
エンバーゴ解除日:
2025.02.07
データセットID:
c8f8fe5d-681f-43fd-a900-5926aafb8bc4
データタイル数:
1
ファイル数:
8
ファイルサイズ:
266.91KB

成果発表・成果利用