データセット名：PHI-QuanteraⅡの日常点検データ（2023年度）
課題名：光電子分光装置の日常点検データ（2023年度）
データセット登録者（所属機関）：AIST大塚（国立研究開発法人 産業技術総合研究所）
- 課題番号：
- JPMXP1223AT0423
- 実施機関：
- 産業技術総合研究所
要約
国立研究開発法人産業技術総合研究所 ナノプロセシング施設（NPF）のX線光電子分光分析装置（PHI-QuanteraⅡ）の日常点検を目的とした標準試料(Au, Ag, Cu)を測定したデータです。日常点検は、Au4f7/2, Cu2p3/2でエネルギを確認、Ag3d5/2で半値幅を確認しています。また、基本的に単一成分となるよう直前にArイオンビームによるクリーニングを実施していますが、BIC-Fittingにより、成分分離のテストを実施しているものがあります。
キーワード・タグ
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データメトリックス
- ページビュー：
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データインデックス
- 登録日：
- 2024.11.20
- エンバーゴ解除日：
- 2024.06.30
- データセットID：
- eb83bc03-8ca5-4044-a4cd-9d9de888ad48
- データタイル数：
- 41
- ファイル数：
- 41
- ファイルサイズ：
- 987.09MB