データセット名：ALD成膜テストデータの取得 (NPF ALDデータベースシステムとの連携)[FY2022_ARIM Data FS]_HK-616:NPF_SUNALE-R
課題名：ALD成膜テストデータの取得(NPF ALDデータベースシステムとの連携)
データセット登録者（所属機関）：ENDO,Takashi（北海道大学）
- 課題番号：
- JPMXP1222HK9004
- 実施機関：
- 北海道大学
要約
北海道大学で所有している原子層堆積装置(ALD)について、標準的なプロセスレシピ集の作製を目的とし、様々なプリカーサーを用いてテストデータの取得を行いました。オゾン発生器搭載のALD(HK-616)を使用したTiO2, HfO2, MoO3, NiOのGrowth Rateを明らかにするために行った実験結果です。本データセットには成膜に関する装置の設定条件を含んでおり、各項目は産総研NPF ALDデータベースシステムに準拠しております。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
- 重要技術領域（副）：
- 横断技術領域：
- マテリアルインデックス：
- キーワードタグ：
データメトリックス
- ページビュー：
- 480
- ダウンロード数：
- 0
データインデックス
- 登録日：
- 2024.11.13
- エンバーゴ解除日：
- 2024.04.01
- データセットID：
- aa17f9b0-5a03-442a-889b-8dbf3eca4dc2
- データタイル数：
- 38
- ファイル数：
- 152
- ファイルサイズ：
- 3.39MB
装置・プロセス