データセット名：成膜装置による膜特性の差異確認(2022年度:EBX-6D)
課題名：成膜装置による膜特性の差異確認
データセット登録者（所属機関）：早稲田大学_野﨑（早稲田大学）
- 課題番号：
- JPMXP1222WS0004
- 実施機関：
- 早稲田大学
要約
早稲田大学ナノテクノロジー研究センターに設置してある成膜設備間の膜特性の違いを明確にする目的で、今回は絶縁膜の光学特性および絶縁強度の測定を行った。
キーワード・タグ
- 重要技術領域（主）：
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データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2024.11.11
- エンバーゴ解除日：
- 2024.09.30
- データセットID：
- 249c836b-fd07-43b4-8f30-aa062593da09
- データタイル数：
- 8
- ファイル数：
- ファイルサイズ：
- 547.85KB