【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.31】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23MS5023
利用課題名 / Title
走査プローブ顕微鏡で得られる画像解析用のナノデバイスの作成
利用した実施機関 / Support Institute
自然科学研究機構 分子科学研究所 / IMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies
キーワード / Keywords
ナノ構造, 画像解析, 走査プローブ顕微鏡
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
湊 丈俊
所属名 / Affiliation
分子科学研究所 機器センター
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
今井 弓子,上田 正,中本 圭一
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
MS-101：マスクレス露光装置
MS-103：電子ビーム描画装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
走査プローブ顕微鏡で得られる画像を解析し、画像を見るだけでは気付く事が出来ない新しい情報を得る技術を開発し、その技術を実証するためにナノデバイスを作製した。分子科学研究所が保有するARIM設備（ID：MS-101、ID：MS-103）を利用した。
実験 / Experimental
Siウェハ上の単純な構造を含むモデルサンプルのSPM測定を行った。Siウェハを洗浄後、プラズマ処理、スピンコートなどを施した。処理後、構造を表面に書き込んだ。
結果と考察 / Results and Discussion
作製したナノ構造について、走査プローブ顕微鏡を用いて、ピークフォースタッピングモードにより、トポグラフィック像を得た。得られた画像について、画像処理によって局所的な構造を認識し、位置相関を解析する技術を構築した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
-
Sota Tsubokura, Development of a method for analyzing the positional correlation of local structures in scanning probe microscopy images using template-matching image-processing method, Applied Physics Express, 17, 035003(2024).
DOI: 10.35848/1882-0786/ad2784
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 坪倉奏太, 河野翔也, 日置尋久, 野間春生,湊 丈俊"走査プローブ顕微鏡像の特徴解析によるエネルギー材料表面の局所相互作用の解明" 第71回応用物理学会春季学術講演会、東京、2024年3月
- Sota Tsubokura, Shoya Kawano, Yumiko Imai, Tadashi Ueda, Kei-ichi Nakamoto, Hirohisa Hioki, Haruo Noma, Taketoshi Minato "Clarifications of local interactions though image processing of the data acquired from energy materials by scanning probe microscopy" NanospecFY2023, March, 2024.
- 坪倉奏太, 河野翔也, 日置尋久, 野間春生, 湊 丈俊"走査プローブ顕微鏡像の局所特徴抽出法の開発"第84回応用物理学会秋季学術講演会、熊本、2023年9月
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件