【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.04.24】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22JI0047
利用課題名 / Title
磁性粉末表面層の構造解析
利用した実施機関 / Support Institute
北陸先端科学技術大学院大学 / JAIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
軟磁性粉末、表面処理,電子顕微鏡/Electron microscopy,イオンミリング/Ion milling,集束イオンビーム/Focused ion beam,高周波デバイス,高品質プロセス材料
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
木野 泰志
所属名 / Affiliation
新東工業株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
東嶺孝一,伊藤真弓
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）,技術相談/Technical Consultation
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
近年、パワーエレクトロニクスの分野において高周波駆動化が大きく進展している。その中で使用される磁性材料も低損失化要求が高まっており微粒粉末・粒子を必要とされている。想定される高周波域での磁気物性の振る舞いは粉末の表面状態が大きく寄与すると考え、評価・分析手法の確立を目指す。
実験 / Experimental
検討：粉末の断面および最外殻状態を観察するための手法検討①観察対象が強磁性体粉末であり、多数の粉末状態を観察するための観察サンプル作製法の確立
②TEM、Gentle Millを用いて予備観察と薄片化
③STEM-EDS観察
結果と考察 / Results and Discussion
観察対象が強磁性体粉末であるため観察装置へのダメージを考慮し観察粉末周辺を強固に固定する処置を行い観察サンプル作製を実施した。また、作製した観察サンプルのSTEM-EDS観察を行い目的の粒子数の断面観察は可能であることが判明した。一方で粉末最外殻部は鮮明に観察が出来なかった。今後、最外殻部の観察を行うため観察サンプルのより薄片化を試みる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件