【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22MS5040
利用課題名 / Title
ビームスポットの深さ測定
利用した実施機関 / Support Institute
自然科学研究機構 分子科学研究所 / IMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
レーザー材料, ビームスポット深さ測定, 表面粗さ測定
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
小林 純
所属名 / Affiliation
自然科学研究機構分子科学研究所社会連携研究部門 平等G
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
Arvydas Kausas
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
レーザー照射実験後の薄板に生じたビームスポットの深さ測定および薄板全体の表面粗さ測定を行う。
実験 / Experimental
レーザーの照射実験後の薄板の全体の表面粗さの状態および照射実験で生じたスポットの深さを測定する。
結果と考察 / Results and Discussion
薄板全体の表面粗さの測定は、最後まで完了することができなかった。薄板全体に干渉縞を発生させることが困難であったため、測定範囲を広く設定を変えるなど、設定の見直しをしていたが半分程度までしか測定をすることができず、薄板全体の表面粗さのデータは得られなかった。 続いてビームスポットの深さ測定についてであるが、こちらも各ビームスポットの一番深い場所のデータをなんとか得られはしたが、スポット内部で測定ができていない部分が発生していた。スポットの深さがわかる程度にはデータを得ることができたので、レーザー照射実験の結果としては使用できるだろう。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件