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3次元光学プロファイラーシステム

設備ID	MS-102
分類	光学顕微鏡 > その他
装置名称	3次元光学プロファイラーシステム (3D Optical Profilers)
設置機関	自然科学研究機構　　分子科学研究所
設置場所	分子研明大寺地区
メーカー名	Zygo (Zygo)
型番	Nexview
キーワード
仕様・特徴	3次元光学プロファイラーシステム精密温度調整機能付クリーンブース