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3次元光学プロファイラーシステム

設備ID MS-102
分類 光学顕微鏡 > その他
装置名称 3次元光学プロファイラーシステム  (3D Optical Profilers)
設置機関 自然科学研究機構  分子科学研究所
設置場所 分子研 明大寺地区
メーカー名 Zygo (Zygo)
型番 Nexview
キーワード
仕様・特徴 3次元光学プロファイラーシステム
精密温度調整機能付クリーンブース
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