【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22MS5035
利用課題名 / Title
結晶の表面粗さ評価
利用した実施機関 / Support Institute
自然科学研究機構 分子科学研究所 / IMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）その他/Others
キーワード / Keywords
表面粗さ測定,常温接合,レーザー材料
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
小林 純
所属名 / Affiliation
自然科学研究機構分子科学研究所社会連携研究部門 平等G
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
Arvydas Kausas
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
結晶同士の接合を行う際に接合表面の状態が重要になるため、接合に使用する結晶の接合表面の粗さを当該装置（3次元光学プロファイラーシステム (Nexview））を利用して測定を行う。また、他の装置との測定結果の比較のためのデータ収集を行った。
実験 / Experimental
接合実験に使用予定の結晶の種類ごとにランダムに3個ずつを選び、それぞれの結晶の表面および裏面の表面粗さをx2.75、x50にて測定を行った。また、これまでに測定をしてきたデータとの数値の確認を行った。 装置間での比較用データ収集に関しては、結晶表面につけた傷からの移動距離が他の装置と同じになるように確認して測定を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
接合実験に使用予定の結晶の種類ごとにランダムに3個ずつを選び、それぞれの結晶の表面および裏面の表面粗さをx2.75、x50にて測定を行った。また、これまでに測定をしてきたデータとの数値の確認を行った。 装置間での比較用データ収集に関しては、結晶表面につけた傷からの移動距離が他の装置と同じになるように確認して測定を行った。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件