【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.19】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23AT0361
利用課題名 / Title
特殊ガスがマスフローコントローラ接ガス部品に与える影響の調査
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
モノシラン, マスフローコントローラ, 腐食,電子顕微鏡/ Electronic microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
田中 雄大
所属名 / Affiliation
コフロック株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
大塚 照久
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
マスフローコントローラで特殊材料ガスの流量制御を行った後、接ガス部品の表面観察を目的とする。
実験 / Experimental
マスフローコントローラでSiH4の流量制御を行った後に分解。接ガス部品の表面と未使用部品の表面を低真空走査電子顕微鏡で観察する。
結果と考察 / Results and Discussion
流量制御を行ったマスフローコントローラのガスに接した部分の部品表面を、未使用のマスフルーコントローラの部品表面と比較した。その結果、SiH4ガスに接した部品表面には斑状の模様が見られた。成分に関しては不明だが、明らかに接ガスの影響によるものと考えられる。今後、表面の成分を分析する予定である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1：未使用部品
図2：接ガス部品
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件