低真空走査電子顕微鏡
| 設備ID | AT-005 |
|---|---|
| 分類 | 電子顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 低真空走査電子顕微鏡 (Low Vacuum SEM (HITACHI)) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | S-3500N |
| キーワード | 走査電子顕微鏡 SEM 低真空 組成分析 EDX |
| 仕様・特徴 | ・型式:S-3500N（日立ハイテク） ・試料サイズ:15～150 mmφ ・電子銃:熱電子放出型Wヘアピンフィラメント ・加速電圧:0.3～30 kV ・分解能:高真空二次電子像:3.0 nm ・低真空反射電子像:5 nm ・低真空モードでの真空度設定:1～270 Pa ・試料ステージ:五軸モーター駆動 ・可動範囲:100 mm×50 mm ・元素分析:エネルギー分散型X線検出器（EDX） |
