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低真空走査電子顕微鏡

設備ID AT-005
分類 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称 低真空走査電子顕微鏡 (Low Vacuum SEM (HITACHI))
設置機関 産業技術総合研究所(AIST)
設置場所 AISTつくば中央 2-12棟
メーカー名 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番 S-3500N
キーワード 走査電子顕微鏡
SEM
低真空
組成分析
EDX
仕様・特徴 ・型式:S-3500N(日立ハイテク)
・試料サイズ:15~150 mmφ
・電子銃:熱電子放出型Wヘアピンフィラメント
・加速電圧:0.3~30 kV
・分解能:高真空二次電子像:3.0 nm
・低真空反射電子像:5 nm
・低真空モードでの真空度設定:1~270 Pa
・試料ステージ:五軸モーター駆動
・可動範囲:100 mm×50 mm
・元素分析:エネルギー分散型X線検出器(EDX)
    低真空走査電子顕微鏡
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