【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.04.29】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22MS5019
利用課題名 / Title
EB描画によるCrパターンの組成分析
利用した実施機関 / Support Institute
自然科学研究機構 分子科学研究所 / IMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
SEM、組成分析
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
木村 幸代
所属名 / Affiliation
自然科学研究機構分子科学研究所装置開発室
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
高田 紀子,近藤 聖彦
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
石山 修
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
Si基板上にCrを用いて文字パターン（文字高さ1µｍ、Cr膜厚30nm程度）を電子線リソグラフィで作製した。Crスパッタ後にアニソール中でリフトオフを行ったところ、文字全体を囲む部分と、それ以外の周囲で色が異なり、どちらの部位のCrが除去されているか光学顕微鏡で判別がつかなかったため、SEM/EDXを用いて組成分析を行うことにした。
実験 / Experimental
電子顕微鏡SU6600を用いて、リフトオフ後のサンプルをサンプル台に貼り付け、加速電圧5kV、サンプル間距離15mmで組成分析を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
SEM/EDXでサンプルを測定した結果、文字全体を囲む部分ではCrとCが検出され、それ以外の周囲では主にSiが検出された。これにより、周囲はリフトオフされCrが除去できた一方、文字全体を囲む部分についてはリフトオフされず、Crとレジストが残ってしまっていることを確認することができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件