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低真空分析走査電子顕微鏡

設備ID MS-202
分類 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称 低真空分析走査電子顕微鏡 (Low vacuum analysis scanning electron microscope)
設置機関 自然科学研究機構  分子科学研究所
設置場所 分子研 明大寺地区
メーカー名 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番 SU6600
キーワード
仕様・特徴 ショットキー形電子銃
空間分解能1.2nm(30kV)、3.0nm(30kV)
低真空機能(10~300Pa)
EDS(EDX)(BrukerAXS社製 FQ5060/XFlash6)
    低真空分析走査電子顕微鏡
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