【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.25】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23BA0055
利用課題名 / Title
走査型プローブ顕微鏡による材料の表面形状測定
利用した実施機関 / Support Institute
筑波大学 / Tsukuba Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
フォースカーブ測定,走査プローブ顕微鏡/ Scanning probe microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
二田 伸康
所属名 / Affiliation
三菱マテリアル株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
飯原 智美
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
岡野 彩子
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
非鉄金属の材料開発では材料の最表面の情報を的確に取得することが重要となっている。最表面の形状情報を走査プローブ顕微鏡によって詳細に調べることによって材料設計指針を得ることを目的とする。また、形状測定と同一箇所にて力学特性（フォースカーブ測定など）も実施することでサンプルの材質、表面状態と力学特性の相関について検討する。
実験 / Experimental
アルミニウム、シリコン等の工業的に利用されている材料をサンプルとした。実験はBruker社製走査型プローブ顕微鏡DimensionIconを用いた。測定はスキャンアシストモードにて標準的なカンチレバーを用いて行った。
結果と考察 / Results and Discussion
表面処理条件を変量させたサンプルについて、1 μm□程度の微細領域での表面形状を取得することができた。表面粗さのナノメートルオーダーでの評価が可能であることも確認できたが、力学特性に関しては安定したデータを取得することができなかった。今後の検討が必要である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件