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走査型プローブ顕微鏡

    走査型プローブ顕微鏡
    走査型プローブ顕微鏡
機器ID BA-006
分類 走査型プローブ顕微鏡 > 原子間力顕微鏡
装置名称 走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)
設置機関 筑波大学
設置場所 共同研究棟C
メーカー名 Bruker (Bruker)
型番 Dimension Icon
キーワード 表面構造測定
電気特性評価
機械特性評価
仕様・特徴 形状測定モード:
タッピングモード, コンタクトモード
物性測定モード:
電気・磁気特性(EFM/SSRM/KPFM/MFM他)
機械特性(粘弾性/水平力)
試料サイズ:直径 <Φ150mm, 厚さ <10mm
最大スキャン範囲:XY 90μmx90μm, Z 10μm
Z方向ノイズ:0.03nm RMS
測定環境:大気中, 液中(要相談)
機関代表メールアドレス staff=u-tsukuba-arim.jp ([=]を[@]にしてください)
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