走査型プローブ顕微鏡
設備ID | BA-006 |
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分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型プローブ顕微鏡 |
装置名称 | 走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope) |
設置機関 | 筑波大学 |
設置場所 | 共同研究棟C |
メーカー名 | Bruker (Bruker) |
型番 | Dimension Icon |
キーワード | 表面構造測定 電気特性評価 機械特性評価 |
仕様・特徴 | 形状測定モード: タッピングモード, コンタクトモード 物性測定モード: 電気・磁気特性(EFM/SSRM/KPFM/MFM他) 機械特性(粘弾性/水平力) 試料サイズ:直径 <Φ150mm, 厚さ <10mm 最大スキャン範囲:XY 90μmx90μm, Z 10μm Z方向ノイズ:0.03nm RMS 測定環境:大気中, 液中(要相談) |