【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.29】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23UT1223
利用課題名 / Title
プローバーによる素子配線の抵抗値測定
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電気特性評価,高品質プロセス材料/技術/ High quality process materials/technique
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
新井 克美
所属名 / Affiliation
キヤノン電子株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
渡辺茂高
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
三角 啓
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
12インチプローバーは素子配線の抵抗値測定に適用可能であることを確認できた。
実験 / Experimental
支援担当者の指導を受けて配線の電極２つにプローブ針を接触させ、半導体デバイス・パラメータ・アナライザB1500Aにより、2点間に電圧を印加しながら電流を測定した。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig. 1は０Vから１Vまで電圧を上昇させた結果を示す。電圧の上昇に比例して電流が上昇し、それらを除算した電気抵抗値は136Ωで一定となり、自機関における測定結果と一致した。以上から、12インチプローバーは素子配線の抵抗値測定に適用可能であると考える。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 V-I characteristic
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件