12インチプローバー

機器ID	UT-856
分類	デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称	12インチプローバー (12inch Prober)
設置機関	東京大学
設置場所	武田先端知クリーンルーム
メーカー名	Cascade (Cascade)
型番	Elite300
キーワード	プローバ
仕様・特徴	シールドチャンバー付き
機関代表メールアドレス	info=arim.t.u-tokyo.ac.jp ([=]を[@]にしてください)