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12インチプローバー

    12インチプローバー
    12インチプローバー
機器ID UT-856
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称 12インチプローバー  (12inch Prober)
設置機関 東京大学
設置場所 武田先端知クリーンルーム
メーカー名 Cascade (Cascade)
型番 Elite300
キーワード プローバ
仕様・特徴 シールドチャンバー付き
機関代表メールアドレス info=arim.t.u-tokyo.ac.jp ([=]を[@]にしてください)
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