【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.28】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23TU0082

利用課題名 / Title

マイクロ流路デバイスの作製

利用した実施機関 / Support Institute

東北大学 / Tohoku Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

光露光（マスクレス、直接描画）/ Optical exposure (maskless and direct drawing),バイオセンサ/ Biosensor,光リソグラフィ/ Photolithgraphy

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

鳥谷部 祥一

所属名 / Affiliation

東北大学大学院工学研究科

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

庄子征希

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

TU-058：マスクレスアライナ
TU-306：Tencor 段差計

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

マイクロ流路（PDMS製）のための型を作製する目的で露光装置を使用し，また，その計測のために段差計を使用した．

実験 / Experimental

ネガレジストSU-8（3025）を4in シリコン基板にスピンコーターで塗布した．条件は次のとおりである：500 rpm まで 5sかけて加速．500 rpmで10s 回転．3000 rpm まで 10 s かけて加速．3000 rpm で30 s 回転．減速（3 s).MLA150で露光した後，60℃で１分，95℃で4分間ベイクした後で，SU-8用現像液を用いて５分間パドリングしながらエッチングして型を作製した．型の高さを測定するために段差計を使用した．MLA150用のデータは，DXF形式のファイルを出力するpythonでプログラムを自作して用意した（図１）．

結果と考察 / Results and Discussion

設計通りの流路が作成できていることを顕微鏡で確認した．段差計で高さを計測したところ，レジストが柔らかく削ってしまい，正しく計測できていないようであった．ポストベイクなどの必要性があると思われる．ただし，PDMS用の型としては問題なく使用できた．

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図１．マスクレス露光に使用したパターン

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件