【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.04】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23TU0015
利用課題名 / Title
圧電MEMSスピーカ応用研究
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
アクチュエーター/ Actuator,MEMS/NEMSデバイス/ MEMS/NEMS device,CVD,膜加工・エッチング/ Film processing/etching
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
鈴木 裕輝夫
所属名 / Affiliation
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
松本 達也,Li Chung-Min,wang Xuchen
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
森山 雅昭
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TU-155：SPPテクノロジーズ TEOS PECVD
TU-326：Zygo Nexview
TU-201：DeepRIE装置#1
TU-202：DeepRIE装置#2
TU-205：アルバックICP-RIE#1
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
圧電MEMSスピーカの試作研究のため、東北大学試作コインランドリを利用した。
実験 / Experimental
圧電膜PZTのドライエッチング，PDMSパターニング，Si多段階エッチングなどの加工条件を検討した。また，種々のプロセス工程を組み合わせ，圧電MEMSスピーカの試作を繰り返し行った。
PZTのドライエッチングにはTU-205，Si多段階エッチングにはTU-201，TU-202，観察にはTU-326を使用した。
結果と考察 / Results and Discussion
４ｃｍ角基板を使った製品開発試作は，サイクルタイム1カ月で7回繰り返すことができた。圧電膜PZTのドライエッチング，PDMSパターニング，Si多段階エッチングなど特徴のあるプロセス工程の開発を通じて，MEMSマイクロファブリケーション研究を行うことができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
Hi-Reso TWSイヤホン向けの世界初のtrue MEMS speaker （SOPRANO)の製品を世に出すことができました。技術スタッフの日々の支援に感謝いたします。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
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Yuki Hirano, PZT MEMS Speaker Integrated with Silicon-Parylene Composite Corrugated Diaphragm, 2022 IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS), , (2022).
DOI: 10.1109/MEMS51670.2022.9699539
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I033247926
- https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I033244433
- https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I033244359
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件