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アルバックICP-RIE#1

設備ID TU-205
分類 膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称 アルバックICP-RIE#1 (Ulvac ICP-RIE#1)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 アルバック (Ulvac)
型番 NE-550
キーワード SiO2、メタル、圧電体などの多目的ドライエッチング、通常6インチ用
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~6インチ、または、4インチ
基板固定方式:静電チャック
プラズマ方式:ICP
ガス:CF4、CHF3、SF6、C4F8、Ar、O2、N2、Cl2、BCl3
    アルバックICP-RIE#1
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