【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.07】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23NU0240

利用課題名 / Title

圧電性ポリ乳酸フィルムへの金属膜コーティングの検討

利用した実施機関 / Support Institute

名古屋大学 / Nagoya Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

ポリ乳酸, 膜厚測定,スパッタリング/ Sputtering,異種材料接着・接合技術/ Dissimilar material adhesion/bonding technology

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

吉田 光伸

所属名 / Affiliation

三井化学株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

本田杏奈

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NU-205：3元マグネトロンスパッタ装置
NU-220：小型微細形状測定機

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

目的：ポリ乳酸を用いた圧電フィルムへの電極コーティング技術の検討　/　実施内容：電極をフィルム両面に形成する。

実験 / Experimental

圧電フイルムの圧電性評価を実施するために、フイルムの両面に電極となる金属膜を形成した。金属膜とフイルムの密着性を高めるために、成膜方法はスパッタとした。使用装置：スパッタ装置（NU-205）、小型微細形状測定機（NU-220）  

結果と考察 / Results and Discussion

両面に電極形成したフイルムの圧電性を検証した結果、スパッタ成膜後のフイルムは金属膜の成膜には問題がなかったが、インピーダンスアナライザの測定で圧電性を確認できなかった。スパッタ電極成膜時にフイルム温度が融点（160℃）以上に加熱されて溶融し圧電性が焼失した可能性が高い。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

電極形成についてご協力いただき有難うございました。

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件