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小型微細形状測定機

    小型微細形状測定機
    小型微細形状測定機
機器ID NU-220
分類 その他分析装置 > 膜厚測定
装置名称 小型微細形状測定機 (Surface profiler)
設置機関 名古屋大学
設置場所 先端技術共同研究施設
メーカー名 小坂研究所 (Kosaka Laboratory)
型番 ET200
キーワード 段差計
仕様・特徴 ・最大サンプルサイズ:φ160×厚さ48mm
・再現性 :1σ 1nm以内
・測定範囲 :Z:600 µm,X:100mm
・分解能 :Z:0.1 nm,X:0.1 µm
・測定力:10 µN〜500 µN
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