【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.27】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23NU0238
利用課題名 / Title
プラズマエッチング効果に関する研究
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学 / Nagoya Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
低温プラズマ, プラズマエッチング,膜加工・エッチング/ Film processing/etching
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
藤田 千晴
所属名 / Affiliation
株式会社新菱
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
堤 隆嘉
利用形態 / Support Type
（主 / Main）共同研究/Joint Research（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
NU-237：ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置
NU-240：in-situプラズマ照射表面分析装置
NU-235：超高密度大気圧プラズマ装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
低温プラズマによるエッチング効果を確認するため、基礎検討として、プラズマ照射を行ったサンプルの表面形状および組成を分析した。
実験 / Experimental
シリコン基板にエッチング対象膜をコーティングし、ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置にてプラズマ照射を実施した。エッチング結果の評価には、走査電子顕微鏡およびX線光電子分光法を用いた。
結果と考察 / Results and Discussion
プラズマエッチング実施後、サンプルの外観に変化はないものの、走査電子顕微鏡では表面形状の荒れが認められた。またX線光電子分光法にて膜表面の結合状態に変化が認められており、プロセスガスとエッチング対象膜の反応を確認することができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
・共同研究者：堤 隆嘉 准教授（名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター）
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件