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in-situプラズマ照射表面分析装置

    in-situプラズマ照射表面分析装置
    in-situプラズマ照射表面分析装置
機器ID NU-240
分類 表面処理・洗浄 > プラズマ処理
分光・表面分析 > X線光電子分光
分光・表面分析 > 赤外分光
装置名称 in-situプラズマ照射表面分析装置 (In-situ plasma exposure and analysis system)
設置機関 名古屋大学
設置場所 低温プラズマ科学研究センター
メーカー名 自作 (Lab made)
型番
キーワード プラズマ処理
X線光電子分光
FTIR
仕様・特徴 ・プラズマ照射後の表面のin-situ XPS,FT-IR,STM分析が可能.
・プロセスガス:H2,N2,O2,Ar,He,SiH4,SF6,CF4
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