【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.23】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23NU0231
利用課題名 / Title
光学素子の作成
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学 / Nagoya Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
フォトニクスデバイス/ Nanophotonics device,膜加工・エッチング/ Film processing/etching
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
澤野 亮介
所属名 / Affiliation
ソニーグローバルマニュファクチャリング＆オペレーションズ株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
鄭恵貞 助教
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ドライエッチングによるマイクりレンズアレイの作製
実験 / Experimental
石英基板上へレジストによるマイクレンズアレイを作製し、RIE-10NR(NU-226）を用いてエッチングを実施。
レジスト形成時のレジスト膜厚や露光時間等のプロセスパラメータを変化させ、レンズ形状の変化を観察した。
結果と考察 / Results and Discussion
エッチング後のレンズ形状を測定し、選択比を確認することで必要なレンズ形状を得るための最適な露光条件を得ることができた。
また、レジスト膜厚を変化させることで、エッチング後のレンズ形状の安定性が変化することが分かった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
装置使用に対してサポートいただいた鄭恵貞先生に感謝申し上げます。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件