【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.22】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23GA0109
利用課題名 / Title
大気圧低温プラズマを用いて作成した酸化亜鉛薄膜表面の観察
利用した実施機関 / Support Institute
香川大学 / Kagawa Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
原子層薄膜/ Atomic layer thin film
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
須崎 嘉文
所属名 / Affiliation
香川大学 創造工学部 材料物質科学領域
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
石川 巧真,磯野 舞奈,新田 来生
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ガラス基板上に大気圧プラズマCVD装置によって作製した酸化亜鉛薄膜の膜厚を測定するために、エリプソメトリー装置をもちいた。膜厚を求めることができた。
実験 / Experimental
ガラス基板上に大気圧プラズマCVD装置によって作製した酸化亜鉛薄膜の膜厚を測定するために、エリプソメトリー装置をもちいた。
結果と考察 / Results and Discussion
ガラス基板上に大気圧プラズマCVD装置によって作製した酸化亜鉛薄膜の膜厚を測定するために、エリプソメトリー装置をもちいた。膜厚が得られ、触針式段差測定装置で測定膜厚と近い値を示した。しかしながら、高分解能電子顕微鏡（FE-SEM）による断面観察によって得られた膜厚と比較検討した結果、膜厚が異なることがわかった。今後、検討する必要がある。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
特に無し
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件