エリプソメータ
設備ID | GA-012 |
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分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
装置名称 | エリプソメータ (Film thickness measuring system) |
設置機関 | 香川大学 |
設置場所 | 香川大学 創造工学部 |
メーカー名 | 溝尻光学 (Mizojiri-opt) |
型番 | DHA-XA/M8 |
キーワード | 薄膜の厚みや屈折率の測定 |
仕様・特徴 | 膜厚と屈折率を測定可能 処理物:~12インチウェハ 光源波長:632.8nm(He-Neレーザー) 入射角:55°~75°,90° 入射角設定単位:0.01° 最小分解能:1Å 分布計測分解能:0.01mm |