1. ホーム>
  2. 共用設備検索>
  3. エリプソメータ

エリプソメータ

    エリプソメータ
    エリプソメータ
機器ID GA-012
分類 その他分析装置 > エリプソメーター
装置名称 エリプソメータ (Film thickness measuring system)
設置機関 香川大学
設置場所 香川大学 創造工学部
メーカー名 溝尻光学 (Mizojiri-opt)
型番 DHA-XA/M8
キーワード 薄膜の厚みや屈折率の測定
仕様・特徴 膜厚と屈折率を測定可能
処理物:~12インチウェハ 光源波長:632.8nm(He-Neレーザー)
入射角:55°~75°,90°
入射角設定単位:0.01°
最小分解能:1Å
分布計測分解能:0.01mm
スマートフォン用ページで見る