【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.10】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23NM0064
利用課題名 / Title
ピックアップシステムを用いたTEM試料作製
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
セラミックスデバイス/ Ceramic device,集束イオンビーム/ Focused ion beam,光学顕微鏡/ Optical microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
今 直誓
所属名 / Affiliation
三菱マテリアル株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
西宮ゆき,中山佳子
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
その場TEM観察用MEMSチップにFIB法で試料作製した際、加工中のリデポジションや試料固定時のデポジションによる試料汚染を低減することができなかった。そこで、FIB加工後にArイオン加工したサンプルについて、ピックアップシステムを用いてMEMSチップへ固定し、その場TEM観察用の試料作製を行った。
実験 / Experimental
試料は切削工具用材料を用いた。FIB法により厚さ100 nm程度まで薄膜化後、Arイオン加工した。ピックアップシステムを用いてMEMSチップにエポキシ樹脂で固定した。
結果と考察 / Results and Discussion
ガラスプローブによるピックアップでは、ガラスプローブの制御が全てアナログ操作のため、慣れが必要であった。ピックアップ工程中で試料紛失してしまったため、その場TEM観察用の試料は得られなかった。一方で、一連の作業工程は習得できたため、来年度再実施を検討したい。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
本研究の一部は、文部科学省「マテリアル先端リサーチインフラ」事業（課題番号：JPMXP1223NM0064）の支援を受けて実施しました。技術支援下さった物質・材料研究機構の西宮ゆき氏、中山佳子氏に深く感謝いたします。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件