【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23NM5457
利用課題名 / Title
構造材料等の組織解析手法の構築
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
走査型透過電子顕微鏡
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
原 徹
所属名 / Affiliation
物質・材料研究機構
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
諸永 拓
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
TEMによる材料組織の新しい評価手法を検討する。特に今回は電子線によるダメージを受けやすい材料でTEMトモグラフィを観察する際のダメージと分解能や体積についての知見を得る目的で、試行的に観察する。
実験 / Experimental
球面収差補正STEMを用い、80kV程度の低加速電圧におけるTEMトモグラフィー観察の可能性を検討するための実験を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
今回の実験はガラス系材料を用い、TEMトモグラフィが可能かどうかを検討するSTEM観察を行った。TEMトモグラフィの観察では、電子線の透過能を増やすために加速電圧を上げることが望ましいが、その場合は電子線によるダメージが増加する。ダメージを低減しつつ透過能を確保し、かつ必要な分解能を保持できる条件を探した結果、80kVでの観察で可能になることがわかった。現在その条件に合う試料を作製する段階である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件