【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.07】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23NM5348

利用課題名 / Title

二次元ヘテロ構造デバイスの研究

利用した実施機関 / Support Institute

物質・材料研究機構 / NIMS

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

グラフェン

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

岩崎 拓哉

所属名 / Affiliation

物質・材料研究機構

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

渡辺 英一郎

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NM-003：ラマン顕微鏡

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

グラフェンをはじめとする二次元ヘテロ構造を用いた量子・電子・光デバイスにおける新奇物性の探索・制御およびデバイス機能の開拓を目的とする。実施内容について、二次元物質のラマンスペクトルを計測し、層数、ドーピング、欠陥等を評価した。

実験 / Experimental

ラマン顕微鏡(NM-003)を用いて、グラフェンのラマンスペクトルを計測した。レーザー波長は532nmを使用した。グラフェンにダメージが入らないように、サンプル上のレーザー出力を1mW以下に落として測定を行った。

結果と考察 / Results and Discussion

グラフェン特有のGピーク(~1580cm^-1)、2Dピーク(~2700cm^-1)を観測し、層数を判別し、デバイス作製に利用する単層グラフェン、二層グラフェンを同定した。また、SF6プラズマ照射後のグラフェンのラマンスペクトルを計測した結果、Dピーク(~1350cm^-1)の増大を確認し、グラフェン表面がフッ化している事を示唆する結果が得られた。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

SF₆プラズマ照射後のグラフェンのラマンスペクトル。

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件