【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.11】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23NM5238

利用課題名 / Title

スピンカロリトロニクスに関する物質・材料研究

利用した実施機関 / Support Institute

物質・材料研究機構 / NIMS

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion

キーワード / Keywords

走査プローブ顕微鏡/ Scanning probe microscope,熱電発電/ Thermoelctric Power Generation,スピントロニクス/ Spintronics

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

内田 健一

所属名 / Affiliation

物質・材料研究機構

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

伊藤 拓真

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術代行/Technology Substitution

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NM-622：走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

強誘電体/金属複合構造において発現すると理論的に期待されている新奇熱電効果の観測を目指して実験を進めている。強誘電体/金属複合構造作製の前段階として、スパッタリング法等で作製した強誘電薄膜の表面粗さと強誘電特性を評価するために本装置を利用した。

実験 / Experimental

Nd:HfO2薄膜およびAlScN薄膜を試料として用い、原子間力顕微鏡（AFM）による表面形状観察と圧電応答顕微鏡（PFM）による電気分極分布の測定・書き込みを行った。

結果と考察 / Results and Discussion

Nd:HfO2薄膜については強誘電分極反転に必要な電圧が大きいため、本装置では所望の電気分極書き込み特性を得ることはできなかった。AlScN薄膜については明瞭な電気分極反転に由来するコントラストが観測され、強誘電特性が確認された。本結果に基づき、強誘電体/金属複合構造の作製・評価を開始しているところである。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件