【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.17】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23NM5053
利用課題名 / Title
実働環境電子顕微鏡開発
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/ Electronic microscope,二次電池/ Secondary battery,燃料電池/ Fuel cell,太陽電池/ Solar cell,全固体電池/ All-solid battery,エネルギー貯蔵/ Energy storage,資源代替技術/ Resource alternative technology,資源使用量低減技術/ Technologies for reducing resource usage
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
三石 和貴
所属名 / Affiliation
物質・材料研究機構
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
橋本綾子,竹口雅樹,三井正,新津航大,堀江智之,山中操,Ankit Singh,武井俊郎,Harrison Fell,江口琉斗
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
NM-501：実動環境対応物理分析電子顕微鏡
NM-502：実動環境対応電子線ホログラフィー電子顕微鏡
NM-503：200kV電界放出形透過電子顕微鏡（JEM-2100F1）
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
機能性材料が実際に動作している状態での電子顕微鏡観察を実現するための装置・手法開発を行う。
実験 / Experimental
収束電子線を試料上でスキャンし、それぞれの点からの回折図形を取得することで、少ない電子線量で高分解能を得る手法の検討を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
得られた回折図形のピクセル毎の強度をスキャン位置に対してフーリエ変換することで透過波の複素数の位相情報を得る事が出来、その位相を適宜調整することでデフォーカスや収差の影響を補正することが出来るが、隣り合うピクセルで位相が2π以上変化すると正しく補正できなかった。 実験により取得する回折図形の解像度と、画像取得後のデフォーカス量調整可能範囲との関係が明らかになった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
(a) Infocusで取得されたデータから再生されたAu粒子の位相像. (b)(c) プローブ位置に対してフーリエ変換された220成分の位相(b)と補正後の位相(c). (d)(e)(f) 200 nm デフォーカスして得られたデータから再生された位相像(d),220成分の位相(e)と補正後の位相(f).
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件