【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.06.25】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23WS0021
利用課題名 / Title
屈曲/伸縮可能なMEMSデバイスシート
利用した実施機関 / Support Institute
早稲田大学 / Waseda Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
ナノワイヤ、ナノチューブ,リソグラフィ/ Lithography,膜加工・エッチング/ Film processing/etching,MEMS/NEMSデバイス/ MEMS/NEMS device,膜加工・エッチング/ Film processing/etching,光リソグラフィ/ Photolithgraphy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
岩瀬 英治
所属名 / Affiliation
早稲田大学 基幹理工学部 機械科学・航空宇宙学科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
明間和奏,宇田川諒,市川奈緒子,杉原大樹
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
WS-016：レーザー直接描画装置
WS-014：紫外線露光装置
WS-006：プラズマアッシャー
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
伸縮可能な皮膚貼り付け型のシート上にMEMSデバイスを作製する研究が行われているが，この時，シート上の金属配線はシートの曲げ変形や伸縮変形により断裂することがある．そこで金属ナノ粒子の電界トラップを用いることで自己修復する機能を持たせる研究が行われている．この金属配線の修復機能を測定するために，ナノ・ライフ創新研究機構のレーザー直接描画装置，紫外線露光装置，プラズマアッシャーを使用し，人工的なギャップを有する金属配線を作製した．
実験 / Experimental
ポリイミド銅フィルムを用いて基板作製を行った．ポリイミド厚みは25μm，銅厚みは6μm，基板は40mm×50mmの寸法である．レーザー直接描画装置または紫外線露光装置を用いて配線幅127μm，配線間隔127μm，断線幅10μmの配線作製した．その後エッチングし人工的なギャップを有した試験用の銅配線を作製した．そのあとにプラズマアッシャーを用いて撥油レジストをエッチングして，撥油層を配線間に幅100μmで作製した．作製した基板をFig.1に示す．
結果と考察 / Results and Discussion
作製した配線を計測すると，配線幅124μm，断線幅13μmとなっていることが確認された．これはオーバーエッチングによるものであり，露光量やエッチング液に浸す時間など検討する必要があると考えられる．この銅配線を用いて電圧を印加すると，金属ナノ粒子を分散した溶液内に設置された金属な配線が自己修復していることが確認できた．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
共同研究：鈴木千里，遠藤貴範（古河機械金属）
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 明間和奏 岩瀬英治,"フレキシブル基板における自己修復型金属配線の封止構造の検討",8P2-PN-44,マイクロナノ工学シンポジウム 2023年11月8日
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件