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プラズマアッシャー

設備ID WS-006
分類 表面処理・洗浄 > プラズマ処理
装置名称 プラズマアッシャー (Plasma Asher)
設置機関 早稲田大学
設置場所 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター
メーカー名 ヤマト科学株式会社 (Yamato Scientific Co., Ltd.)
型番 PR500
キーワード 表面処理・クリーニング
仕様・特徴 使用ガス:O2ガス
試料サイズ:φ4インチ以下
用途:レジストの灰化除去
ドライエッチング後のO2アッシング)
有機系汚染物質のクリーニング
Si表面の親水化処理等
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