【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2024.07.01】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22GA0086
利用課題名 / Title
細胞評価のためのデバイスの開発
利用した実施機関 / Support Institute
香川大学 / Kagawa Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
リソグラフィ・露光・描画装置, 成膜・膜堆積,膜加工・エッチング, 形状・形態観察
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
上野 秀貴
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所四国センター
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
GA-002：マスクレス露光装置
GA-004：デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
GA-005：触針式表面形状測定器
GA-006：・走査電子顕微鏡群（EDS付き）・イオンコータ
GA-007：白色干渉式非接触三次元形状測定器
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
細胞評価のためのデバイス作製のため、香川大学の微細加工装置群を利用し、微細な細胞格納用チャンバを基板上に作製した。また、その形状を走査電子顕微鏡などを用いて評価した。
実験 / Experimental
マスクレス露光装置（大日本科研社製、MX-1204)を用いて作製したフォトマスクと、両面マスクアライナ（ズース・マイクロテック社製、MA6/BA6：登録外機器）およびスピンコーター（ミカサ社製、MS-B150）を用いたフォトリソグラフィ/エッチング加工により、デュアルイオンビームスパッタ装置（ハシノテック社製、10W-IBS）にて成膜した金属薄膜をパターニングした。パターニングにより基板上に作製した細胞格納用の微細なチャンバ構造を走査電子顕微鏡（EDS付き）(JEOＬ社製、JSM-6060-EDS)により観察し、さらに、白色干渉式非接触三次元形状測定器（ブルカー・エイエックスエス社製、NT91001A-in motion）と触針式表面形状測定器（ULVAC社製、 Dektak8）を用いて測定することで、その加工精度を評価した。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig.1に走査電子顕微鏡（EDS付き）を用いて取得した細胞格納用チャンバのSEM画像を示す。加速電圧等を調整することで、チャンバ全体を明瞭に観察できた。また、白色干渉式非接触三次元形状測定器と触針式表面形状測定器を用いてその形状を測定したところ、ほぼ設計値通りの形状を作製できていることが分かった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 SEM image of a fabricated chamber on the substrate
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
・本研究は日本学術振興会 特別研究員奨励費（20J01820）による支援により実施されました。 ・その他ARIM利用機関：産業技術総合研究所（JPMXP1222AT0215）
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
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Hidetaka Ueno, Fabrication Method for Shape-Controlled 3D Tissue Using High-Porosity Porous Structure, Bioengineering, 11, 160(2024).
DOI: https://doi.org/10.3390/bioengineering11020160
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 上野秀貴, 重藤元, 飯塚明, 秋山靖人, 山村昌平, “2段型マイクロチャンバーアレイチップを用いた1細胞培養技術”,第45回 日本分子生物学会年会, 令和4年12月1日．
- Hidetaka Ueno,Yoshinori Akagi,Shohei Yamamura,”Single-cell Retrieval Method using Light-responsive gas-generating polymer Implanted Microarray Chip”,Biosensors 2023 - 33rd Anniversary World Congress on Biosensors,June 5-6, 2023
- Hidetaka Ueno,Yoshinori Akagi,Shohei Yamamura,”Single-Cell trapping and releasing method using nitrogen gas generated from Light-responsive gas-generating polymer (LGP)”, The 27th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (µTAS 2023),October 15-19, 2023
- Hidetaka Ueno,Shohei Yamamura,”Indium tin oxide microarray chip for cell proliferation assay”,8th International Conference on Bio-Sensing Technology,May 12-15, 2024
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：1件