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触針式表面形状測定器

    触針式表面形状測定器
    触針式表面形状測定器
機器ID GA-005
分類 その他分析装置 > 段差計
装置名称 触針式表面形状測定器 (Stylus-type surface shape measuring system)
設置機関 香川大学
設置場所 香川大学 創造工学部
メーカー名 アルバック (ULVAC)
型番 Dektak8
キーワード レジストや薄膜の厚みや,エッチングによる段差構造等の表面形状測定
仕様・特徴 測定分解能:最小:0.1nm
垂直分解能/レンジ:1Å/65kÅ、10Å/655kÅ、40Å/2620kÅ
サンプルサイズ:直径210mm
測定長さ:50μm〜50mm
最大サンプリング数:30,000点
測定加重:1〜15mg
自動多点測定数:最高200点
サンプル観察:
トップビュー(低倍率カラー)10mm
サイドビュー(高倍率カラー)1mm
測定再現性:1nm以下
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