【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.18】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22GA0041
利用課題名 / Title
生体適合型構造色式センサの開発
利用した実施機関 / Support Institute
香川大学 / Kagawa Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
カメラ,触覚,センサ,成膜・膜堆積
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
前田 祐作
所属名 / Affiliation
香川高等専門学校
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
佐柄雅聡,片山兼蔵,咲本裕哉
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
GA-004：デュアルイオンビ－ムスパッタ装置
GA-005：触針式表面形状測定器
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
生体適合性樹脂材料を用い、一切の配線やエネルギー供給が不要な、構造色式センサの開発を行っている。構造色は、1 µm程度の空気ギャップを有する2枚の鏡面間で生じる干渉によって呈される。この鏡面を、生体適合樹脂上に形成するため、光造形によって得られたセンサ構造における研磨した面に対して金属成膜を行った。
実験 / Experimental
試料に対し、デュアルイオンビ－ムスパッタ装置（ハシノテック社製、10W-IBS）を用いて、アルミ膜を17 nm/minの成膜レートを持つレシピで、5分間成膜した。成膜後、触針式表面形状測定器（アルバック社製、Decktak8）を使用し、表面粗さRaと平坦度を評価した。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig. １に研磨前後（どちらも金属成膜後）の表面粗さRa、平坦度をそれぞれ示す。研磨により粗さ、平坦度をどちらも低減できていることが確認できた。また、Fig. 2には、成膜を行った構造を使用し製作したセンサ素子を示す。中央部に構造色が提示できていることが確認できた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 Comparison result of surface roughness
Fig. 2 Photograph of structural color-based sensor
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- 佐柄雅人, 前田祐作, 高尾英邦, "構造物ヘルスモニタリングに向けた構造色式荷重センサの製作工程の確立", 第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム (2022), 15P2-P-17(4 pages)
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件