【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.19】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22UT1144
利用課題名 / Title
超高速干渉イメージング光学系の基礎評価のためのナノ構造試料の作製
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
段差計測, 3次元構造計測、超高速干渉イメージング光学,電子顕微鏡/Electron microscopy,リソグラフィ/Lithography,膜加工・エッチング/Film processing and Etching,スパッタリング/Sputtering,蒸着・成膜/Evaporation and Deposition,フォトニクス/ Photonics
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
中川 桂一
所属名 / Affiliation
東京大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
佐伯峻生,石島歩,田中理香子
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
UT-505：レーザー直接描画装置 DWL66+2018
UT-603：汎用高品位ICPエッチング装置
UT-711：LL式高密度汎用スパッタリング装置(2019)
UT-850：形状・膜厚・電気特性評価装置群
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
レーザ誘起表面弾性波のような超高速時間領域における構造ダイナミクスの計測に向け，我々は超高速干渉イメージング光学系の開発を行なっている．その中で，計測システムの空間分解能を評価するため，ナノメートルスケールの高さ構造を持つ静的サンプルが必要となる．今回は，成膜・リソグラフィ・エッチング技術を用いて，水平方向にµmスケール，高さ方向にnmスケールの静的サンプルを作製し，段差評価を行った．
実験 / Experimental
● LL式高密度汎用スパッタリング装置（CFS-4EP-LL）● 形状・膜厚・電気評価装置群：触針段差計（DektakXT），レーザ顕微鏡（LEXT OL5000）● レーザ直接描画装置（DWL66+）● 汎用高品位ICPエッチング装置（NE-550）を利用して実験を行った．
結果と考察 / Results and Discussion
まず，スパッタリング装置を用いて，厚さ5 mmのガラス基板上にCrを200 nmコーティングした．膜厚の評価には，触針段差計（DektakXT）を用いた．次に，基板表面にOAPおよびレジスト（ZPN1150）を塗布し，レーザ直接描画装置でµmスケールの2次元パターンを描画した．現像後，エッチング装置を用いて，エッチングおよびアッシングを行った． 3次元構造の評価には，レーザ顕微鏡（LEXT OL5000）を用いた．線幅5 µm程度，高さ115 nm程度の構造を持つサンプルを作製することができた．現在は，このサンプルを用いて空間分解能の評価を行う実験系を構築している．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 3D measurement of the static sample with a nm-scale structure
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
【競争的資金】文部科学省「光・量子飛躍フラッグシッププログラム(Q-LEAP)」【謝辞】開発にあたり大変有益なご助言およびサポートを賜りました，東京大学 大学院工学系研究科 三田研究室 水島彩子様 に心より感謝を申し上げます.
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件