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形状・膜厚・電気特性評価装置群

    形状・膜厚・電気特性評価装置群
    形状・膜厚・電気特性評価装置群
機器ID UT-850
分類 光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡
デバイス特性 > 電気特性評価
機械特性 >
装置名称 形状・膜厚・電気特性評価装置群 (Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.)
設置機関 東京大学
設置場所 武田先端知クリーンルーム
メーカー名 キーエンス ブルカー 東朋テクノロジー ズースマイクロテック 日本分光 オリンパス (Keyence BRUKER Toho Technology SUSS MicroTec JASCO Olympus)
型番 VHX-6000 DektakXT Tohospec3100 Suss8”プローバ M-550 LEXT OLS5000
キーワード 観察
段差測定
膜厚測定
機械特性
仕様・特徴 枝番1:顕微鏡
枝番2:触針段差計
枝番3:光干渉式膜厚測定装置
枝番4:Suss8”プローバ,針を当てて電気的特性を測定する装置。8インチ対応。
枝番5:分光エリプソメータ―
枝番6:レーザー顕微鏡
機関代表メールアドレス info=arim.t.u-tokyo.ac.jp ([=]を[@]にしてください)
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