【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.30】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22AT0313
利用課題名 / Title
バリア性実験
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
バリア性, TiN, TaN
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
倉橋 輝雄
所属名 / Affiliation
富士通オプティカルコンポーネンツ
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
AT-025：スパッタ成膜装置(芝浦）
AT-050：四探針プローブ抵抗測定装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
温度150℃,時間250hに対してSiO2中への金の拡散を抑制するためのバリア膜を調査した結果、本温度ではTiN,TaN膜のどちらでも拡散を抑制することが分かった。
実験 / Experimental
【NPF025】スパッタ成膜装置(芝浦)
【NPF050】四探針プローブ抵抗測定装置
Si基板上にSiO2が成膜してあるウエハにTi(20nm)/TiN(50nm)/Au(1µm)とTa(20nm)/TaN(50nm)/Au(1µm)を多層成膜した試料を作製して、恒温槽で150℃,250hの熱を掛けた場合のSiO2中へのAuの拡散を調査した。
尚、この時のTiNとTaNのシート抵抗はTiN(62Ω□)、TaN(74Ω□)としたバリアメタルを用い、評価はSSDP-SIMS分析にて深さ方向のAu拡散量を調べた。
結果と考察 / Results and Discussion
今回成膜した試料を、ガス雰囲気制御していない恒温槽で熱処理(150℃,250h)を実施した後、SSDP-SIMS分析によりSiO2中へのAu拡散を調査した結果をFig. 1（TiN膜の場合）とFig. 2（TaN膜の場合）に示す。どちらの場合でも、SiO2中にAuが拡散していない事が確認された。その結果、TiN、TaNのバリアメタル試料において、SiO2中へのAuの拡散は認められずAuに対するバリア性を有する事が確認できた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 SSDP-SIMSによる分析結果（Ti/TiN/Au構造）
Fig. 2 SSDP-SIMSによる分析結果（Ta/TaN/Au構造）
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
技術代行として、成膜を担当して頂きスムーズな実験が出来、助かりました。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件