【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.31】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22AT0206
利用課題名 / Title
カーボンナノチューブを複数の手法で計測する基板の作成
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
カーボンナノチューブ(CNT),カイラリティ
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
生田 美植
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
AT-006：マスクレス露光装置
AT-023：電子ビーム真空蒸着装置
AT-049：ナノプローバ[N-6000SS]
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
カーボンナノチューブ(CNT)を電気デバイスに応用する際に、チューブのカイラリティによる導電性の違いが重要であるが、それ以外にチューブの潰れやその積み重なりの形態による導電性が注目されている。形態の異なるチューブの個々の導電性を測定することで、解明される事が期待されている。
実験 / Experimental
【利用した主な装置】
スピンコーター【NPF008】
マスクレス露光装置【NPF006】
電子ビーム真空蒸着装置【NPF023】
スマートウォーターバス[TB-1N] 【NPF017】
ダイシングソー【NPF054】
ナノプローバ[N-6000SS] 【NPF049】
【実験方法】
シリコン酸化膜基板上にカーボンナノチューブを孤立分散させて導電性計測と形態計測を行った。様々な計測において同一のチューブが見つけ易い様に、基板には目印として、厚さ100nmでサイズ4μm程度の金ドットをリソグラフ加工でまばらに配置した（Fig. 1）。このリソグラフ加工及びナノプローバによる電気計測（Fig. 2）を、NPFの装置で行った。形態計測を自前のAFM,SEM,ラマン分光で行った。
結果と考察 / Results and Discussion
ナノプローバで電圧-電流特性を計測し、同一のチューブの潰れと積み重なりの程度との相関データの取得を行う事が出来た。また同一のチューブのラマン分光の計測を行う事も出来た。導電性と形態および光学特性の関係について、解析を行って行く予定である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 Substrate with sparse island marks
Fig. 2 State of conductive property measurement
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件