【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.12】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22UT0185
利用課題名 / Title
当社開発品または製造品の表面分析
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
表面・界面,有機系機能性材料,異物,質量分析/Mass spectrometry
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
大塚 徹郎
所属名 / Affiliation
富士フイルム
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
杉田明寛,蜂谷正樹
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
竹内 美由紀
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
高空間分解能のNano-SIMS 50Lを用い、有機架橋膜中のサブミクロン径の異物の構成元素を把握できた。異物故障解析にNano-SIMSが有効であることがわかった。
実験 / Experimental
Siウェハー上の有機架橋膜の異物部にマーキングし、測定した。測定にはCAMECA社製Nano-SIMS
50Lを用いた。一次イオン源としてCs+
(加速電圧8
kV) を選択した。Cs+ビーム電流は2 pA以下の範囲で適宜調整した。下記の測定条件で有機架橋膜中の異物及び周囲を測定した。
測定面積：10×10 mm2
面分解能：512×512 pixel
積算回数：6回
結果と考察 / Results and Discussion
図1に有機架橋膜の異物部の二次イオン像を示す。異物から特異的な元素が3種検出された。また、4つの異物から同元素が共通して検出されたことからはいずれも同じ素材の凝集物であると推定した。異物の構成元素では使用しておらず、使用素材や工程の汚染に関連した故障と推定した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 異物部の二次イオン像
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
なし
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件