【公開日：2023.07.31】【最終更新日：2023.05.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22UT0079
利用課題名 / Title
はんだ粉の酸化膜測定
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/Electron microscopy,表面・界面・粒界制御/ Surface/interface/grain boundary control
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
山本 佑樹
所属名 / Affiliation
株式会社弘輝
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
中村 光弘,押川 浩之
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）,機器利用/Equipment Utilization
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
製造方法の異なる2種類のはんだ粉（はんだ1、はんだ2）についてTEMによる断面観察を行い、酸化膜の膜厚及び状態を観察した。
実験 / Experimental
はんだ1及びはんだ2それぞれのはんだ粉を樹脂封止した後、イオンスライサー（JEOL, EM-09100IS）で断面出しを行い測定サンプルとした。
作製したサンプルはTEM(JEOL, JEM-2010F)で観察し、酸化膜の観察を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
はんだ1及びはんだ2それぞれの断面のTEM観察を行った結果を図1、2に示す。
はんだ粉１の下側のやや薄くなった部分が酸化膜と推測され、約5 nmのアモルファス層を形成していた。一方、はんだ粉2の酸化膜層と推測される部分ははんだ粉1と同様約5 nmの層を形成していたが、アモルファス層ではなく結晶格子が形成されているのが観察された。格子間隔を計測するとスズの(211)を示しており、スズナノ粒子が粒子表面に融着した可能性が考えられる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1. はんだ1の断面観察
図2. はんだ2の断面観察
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
イオンスライサーによるサンプル作製及びTEM観察についてはナノ工学研究センターの中村様、押川様に支援頂きました。感謝いたします。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件