【公開日：2023.08.01】【最終更新日：2023.05.08】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22KT1197
利用課題名 / Title
Siピクセル検出器を用いたCompton-PET hybrid cameraの開発
利用した実施機関 / Support Institute
京都大学 / Kyoto Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
半導体パラメータアナライザ,高精細Siピクセルセンサ
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
上ノ町 水紀
所属名 / Affiliation
京都大学 学際融合教育研究推進センター 宇宙総合学研究ユニット
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
鶴剛,池田智法,松田真宗
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
KT-326：高周波伝送特性測定装置
KT-329：半導体パラメータアナライザ
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
核医学で用いられるPET(Positron emission tomography)核種とSPECT(Single photon emission computed tomography)核種の同時イメージングを可能とするCompton-PET hybrid cameraの開発を行なっている。そこで、放射線の反応イベントごとの検出位置およびエネルギー情報の取得が可能なSOI (Silicon on insulator)技術を用いたSiピクセルセンサ(XRPIX)を用いた計測システムを構築している。SOIは高抵抗Siセンサと集積回路を一体化した高精細ピクセルセンサであり、本課題では、センサ部分のIV特性、リーク電流や空乏層厚の測定を行い、十分な特性を有したチップを選定する。
実験 / Experimental
Silicon on Insulator (SOI) 技術を用いた超微細シリコン検出器であるXRPIX7のチップ選定のため、京都大学ナノテクノロジーハブ拠点が保有するケースレーインスツルメンツ（株）の半導体パラメータアナライザ 4200-SCS (C29)を用いてXRPIX7の電源pad（AV33-AGND, DV33-DGND, AV18-AGND, DV18-DGND）のIV測定を行なった。AV33-AGND, DV33-AGNDに関しては、電圧を0.1 Vずつ3.3 Vまで印加、DV33-DGND, DV18-DGNDに関しては電圧を0.1 Vずつ1.8 Vまで印加していき電流の変化を測定した。
結果と考察 / Results and Discussion
各電源padのIV測定結果を図1-4に示す。IV測定の結果, チップの電源供給箇所のアナログ電圧1.8(AV18)、3.3 V (AV33)、デジタル電圧 1.8 V (DV18)、3.3 V (DV33)に流れる電流は正常値であり、測定したXRPIX7の電源のIV特性に問題ないことを確認した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1
図2
図3
図4
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件