【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.17】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22BA0050
利用課題名 / Title
電解放出型走査電子顕微鏡の分解能評価
利用した実施機関 / Support Institute
筑波大学 / Tsukuba Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者）/Internal Use (by ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
分解能評価,電子顕微鏡/Electron microscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
俵 妙
所属名 / Affiliation
筑波大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
谷川 俊太郎,岡野 彩子,末益 崇
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本学共用装置の電解放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）SU-8020を用いて、加速電圧と倍率を変えたときの分解能の違いを評価し、利用者の参考データとする。
実験 / Experimental
本共用装置では、装置利用に慣れていない場合はWorking Distance (WD)8 mmで固定した状態で観察を行うため、WDは8 mmとして、分解能測定用金粒子(粒度分布1~40 nm、日新EM_Cat.No.1105）の観察を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
図1に加速電圧を10.0, 5.0, 2.0, 1.0 kV、倍率10k, 50k, 100k, 200k, 500kで観察したSEM像を示す。今後は、装置の実際の分解能の説明資料として利用する予定である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 各種条件で観察した金粒子
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件