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電界放出型走査電子顕微鏡

    電界放出型走査電子顕微鏡
    電界放出型走査電子顕微鏡
機器ID BA-008
分類 電子顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称 電界放出型走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
設置機関 筑波大学
設置場所 共同研究棟C
メーカー名 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番 SU-8020
キーワード 超高分解能SEM
二次電子
反射電子
仕様・特徴 二次電子分解能;1.0nm(加速電圧15kV,WD=4mm) 1.3nm(照射電圧1kV,WD=1.5mm)
照射電圧;0.1~30kV
低倍率モード;20~2,000倍(写真倍率)
高倍率モード;100~800,000倍(写真倍率)
SE/BSE信号可変方式
機関代表メールアドレス staff=u-tsukuba-arim.jp ([=]を[@]にしてください)
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