【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22BA0032
利用課題名 / Title
極小螺旋ドーナツレーザーの開発
利用した実施機関 / Support Institute
筑波大学 / Tsukuba Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
リソグラフィ/Lithography,膜加工・エッチング/Film processing and Etching
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
山本 洋平
所属名 / Affiliation
筑波大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
青柳舜也
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
柏木隆成
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究では有機材料を使用したリング共振器の開発を目的としている。ポリマーをリング状に並べるためのプロセスとして、初めにガイドとして石英基板にリング状の溝を作製し、そこへポリマーを導入した。この石英基板へのエッチングをARIMの装置を利用して行った。
実験 / Experimental
石英基板に対し、有機洗浄及びUVオゾン洗浄を行い、ポジ型レジストであるofpr-800をスピンコートした。その後パターン投影リソグラフィシステム(μpg501)を利用しリング状のパターニングを行った。また小型イオンシャワー(10IBE-EPD_UoT-Y)を用いてドライエッチングを行った。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig. 1にフォトリソグラフィでリング状のパターニングを施した後の画像を示す。Fig. 2に小型イオンシャワーでエッチングを施したリングの画像を示す。エッチング前はリングの壁面が綺麗であるのに対し、エッチングしたことにより壁面の形状が粗くなってしまっていることがわかる。溝の深さを確保するためにエッチングの時間を長くとったため、エッチングの過程でレジストが耐えることができなかったことが考えられる。今後はレジストの成膜条件の検討が必要であると考えられる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 Image of ring before etching
Fig. 2 Image of ring after etching
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
装置の使用方法について教授してくださった柏木隆成講師に感謝申し上げます。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件